发明名称 Heliumsensor
摘要 Der Heliumsensor weist ein Gehäuse (10) auf, welches eine Detektionskammer (11) umschließt. Eine Seite des Gehäuses ist mit einer selektiv für Helium durchlässigen Wand (12) verschlossen. In der Detektionskammer (11) befindet sich eine Ionengetterpumpe mit einer Anode (14), einer Katode (15) und einem Magnetfeld (16). Erfindungsgemäß besteht die Katode (15) bzw. ein Katodenschenkel (15a) aus Beryllium. Beryllium hat ein geringes Atomgewicht, wodurch die ebenfalls leichtgewichtigen Heliumionen besser in das Katodenmaterial eingebunden werden.
申请公布号 DE102008011686(A1) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 DE200810011686 申请日期 2008.02.28
申请人 INFICON GMBH 发明人 GROSE BLEY, WERNER;WETZIG, DANIEL
分类号 G01N27/62;G01L21/30;G01M3/20;G01N27/403 主分类号 G01N27/62
代理机构 代理人
主权项
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