发明名称 Vakuumbeschichtungsverfahren und Anordnung zur Durchführung des Verfahrens
摘要
申请公布号 DE112007002897(A5) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 DE200711002897T 申请日期 2007.10.01
申请人 VON ARDENNE ANLAGENTECHNIK GMBH 发明人 OBST, HENRIK;DEUS, CARSTEN;GOTTSMANN, LUTZ;WENZEL, BERND-DIETER;TEICHERT, BERND;LENK, PETER;HECHT, HANS-CHRISTIAN
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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