发明名称 SISTEMA DE LITOGRAFIA POR INTERFERENCIA DE LASER
摘要
申请公布号 ES2310132(B1) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 ES20070001546 申请日期 2007.06.05
申请人 INSTITUTE OF APPLIED PHYSICS;CENTRO DE ESTUDIOS E INVESTIGACIONES TECNICAS DE GUIPUZCOA (CEITG);OPTOELECTRONICS RESEARCH CENTRE, TAMPERE UNIVERSITARY OF TECHNOLOGY 发明人 KONSTANTINOVICH VEREVKIN YURY;NIKOLAEVICH PETRYKOV VLADIMIR;OLAIZOLA IZQUIERDO SANTIAGO MIGUEL;RODRIGUEZ GONZALEZ AINARA;AYERDI OLAIZOLA ISABEL;PENG CHANGSI
分类号 G03F7/20 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
主权项
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