发明名称 搬送用治具
摘要 <p>【課題】搬送における被搬送物を、即座に安定した吸引状態として得られるようにして生産性を低下させずに、かつ、搬送時の安定性を向上させた搬送用治具を提供する。【解決手段】複数枚の繊維強化プリプレグシートの積層体からなる搬送用治具であって、該搬送用治具の片面に形成された被搬送物を吸引固定する複数の吸引部2と、搬送用治具の内部に、各吸引部2から搬送用治具の側面まで他の吸引部を経由することなく形成された吸引径路と、吸引径路の側面の開口部を吸引手段と接続する吸引手段接続部4とを設けて搬送用治具1を構成する。【選択図】図1</p>
申请公布号 JP3153419(U) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 JP20090004320U 申请日期 2009.06.24
申请人 京セラケミカル株式会社 发明人 中木村 敬子;風間 真一
分类号 H01L21/677 主分类号 H01L21/677
代理机构 代理人
主权项
地址