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发明名称 SPUTTERTARGET
摘要
申请公布号 DE60042583(D1) 申请公布日期 2009.09.03
申请号 DE20006042583 申请日期 2000.05.01
申请人 NIPPON MINING & METALS CO. LTD. 发明人 KUMAHARA, YOSHIKAZU;ISHIZUKA, KEIICHI
分类号 C23C14/34 主分类号 C23C14/34
代理机构 代理人
主权项
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