THREE-DIMENSIONAL MICROBATTERY AND METHOD FOR THE PRODUCTION THEREOF

摘要

Es wird eine dreidimensionale Mikrobatterie offenbart, bei der in einem Substrat (1) eine Vertiefung (2) vorgesehen ist, in der zwei in der Substratebene nebeneinander liegende Kammern ausgebildet sind. In den Kammern ist jeweils die mit einem Elektrolyten (6) getränkte Aktivmasse (4, 5) von negativer und positiver Elektrode aufgenommen. Zwischen den beiden Kammern befindet sich eine poröse, mit dem Elektrolyten durchtränkte und einen Durchgang von aktiver Elektrodenmasse verhindernde Trennwand (3). Die freien Oberflächen der Aktivmasse beider Elektroden und der Trennwand liegen in einer Ebene mit einer Oberfläche des Substrats. Die Elektroden und die Trennwand sind durch eine über den Rand der Vertiefung hinausragende Abdeckschicht (10) hermetisch versiegelt.