| 发明名称 |
Prädiktives Fehlerschema für industrielles Stromversorgungssystem |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE60233012(D1) |
申请公布日期 |
2009.09.03 |
| 申请号 |
DE20026033012 |
申请日期 |
2002.01.21 |
| 申请人 |
MKS INSTRUMENTS INC. |
发明人 |
NASMAN, KEVIN P.;RADOMSKI, AARON T. |
| 分类号 |
H01J37/32;H02J13/00;G05B23/02;H02H1/00;H02H3/04;H02J3/00 |
主分类号 |
H01J37/32 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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