具有紧急泄压配置的长晶炉体结构

摘要

本发明是有关于一种具有紧急泄压配置的长晶炉体结构，其是将炉上腔的下开口对应套盖于隔离室顶板的通口上方，炉上腔外部等角度凸设有三个定位环分别活套于顶板的三个向上凸杆并能上下导引移动。若炉上腔与炉底盖对合而成的长晶炉内部气压过高，向上克服炉上腔重量而抬起炉上腔时，炉上腔就会依其定位环顺着向上凸杆的导引而向上稍微掀开，可立即泄出内部气体，随后又因炉上腔本身的重量重新下落而盖回通口上。若能于炉上腔增设一形泄压管，更能于较低压时先适度泄压，可具有双重泄压保护的功效，可完全防止炉体爆开的工安事件发生。

主权项

1、一种具有紧急泄压配置的长晶炉体结构，其特征在于，包括：一隔离室，包括有一顶板，该顶板包括有一通口、及至少一第一导引件，该至少一第一导引件凸设于该顶板上方并邻近于该通口处，该隔离室内容设有一炉底盖，该炉底盖设有一上开口，该上开口是向上对应于该顶板的该通口；以及一炉上腔，包括有一下开口、及至少一第二导引件，该下开口是对应套盖于该顶板的该通口上方，该至少一第二导引件固设于该炉上腔外部并邻近于该下开口处，该至少一第二导引件对应耦合到该至少一第一导引件并能彼此上下导引移动。