发明名称 一种氮化镓太阳能同位素复合型微电池及其制作方法
摘要 本发明为一种氮化镓太阳能同位素复合型微电池及其制作方法,属于微机电系统中的能源领域。本发明的结构为:光学增透膜/蓝宝石基片/P型GaN外延生长层/N型GaN外延生长层/P型GaN外延生长层/同位素放射层。本发明的制作方法首先在基底的一侧镀制一层光学增透膜,然后在基底另一侧利用金属有机物化学气象沉淀工艺,依次生长两个背靠背PN结,最后在PN结外侧固定同位素放射层。本发明克服了太阳能电池仅有光照下才可提供电能的局限;同时克服了同位素电池的功率输出小的局限;光照条件下,本发明相对同参数的同位素微电池输出功率提高10倍以上。
申请公布号 CN101521240A 申请公布日期 2009.09.02
申请号 CN200910082827.0 申请日期 2009.04.22
申请人 北京理工大学 发明人 姜澜;朵英贤;李遂贤;陈海洋;王婷
分类号 H01L31/042(2006.01)I;G21H1/06(2006.01)I;H01L31/0304(2006.01)I;H01L31/0216(2006.01)I;H01L31/02(2006.01)I;H01L31/18(2006.01)I 主分类号 H01L31/042(2006.01)I
代理机构 北京理工大学专利中心 代理人 张利萍
主权项 1. 一种氮化镓太阳能同位素复合型微电池,其特征在于结构为:光学增透膜/蓝宝石基片/P型GaN外延生长层/N型GaN外延生长层/P型GaN外延生长层/同位素放射层;其中:光学增透膜为0.2μm的SiO2薄膜;蓝宝石基片的厚度为0.1-1mm,双面抛光;内层P型GaN外延生长层的厚度为0.3-0.5μm,掺杂浓度为1016-17cm-1的Si;N型GaN外延生长层的厚度为2-5μm,掺杂浓度为1018-19cm-1的Mg;外层P型GaN外延生长层的厚度为0.2-0.5μm,掺杂浓度为1016-17cm-1的Si;同位素放射性层为63Ni金属,采用镀制法的厚度为1-2μm,采用紧固法的厚度为20-100μm。
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