抛光设备

摘要

上抛光板向下移动一直到面向下抛光板为止以便抛光工件。上抛光板连同第一弹性件、第二弹性件、外部件和连接件一起在一水平面中旋转。推压外部件或内部件向上的第一压力和推压外部件或内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出第一封闭空间中而在第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。

主权项

1.一种抛光设备，包括：下抛光板；上抛光板，对于所述下抛光板相对地移动，以便抛光夹持在所述下抛光板和上抛光板之间的工件；和夹持机构，用于夹持所述上抛光板，其特征在于，所述夹持机构包括：内部件；外部件，具有上开口端和下开口端，所述外部件容纳所述内部件；第一弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第一弹性件连接所述内部件的上部和所述外部件的上部，并且封闭所述外部件的上开口端；第二弹性件，由弹性材料制成并且制成具有预定宽度的环形，所述第二弹性件连接所述内部件的下部和所述外部件的下部，并且封闭所述外部件的下开口端；第一封闭空间，由所述内部件的外表面、所述外部件的内表面、所述第一弹性件和所述第二弹性件所包围；和流体供应部分，供应加压流体进入所述第一封闭空间，所述内部件和所述外部件之一连接到旋转驱动单元，另一个连接到所述上抛光板，并且所述上抛光板与所述内部件及所述外部件通过所述旋转驱动单元在一水平面中旋转，并且推压所述外部件或所述内部件向上的第一压力和推压所述外部件或所述内部件向下的第二压力之间的、通过供应加压流体进入和排出所述第一封闭空间而在所述第一封闭空间中产生的压力差被调节，以便调节所述上抛光板的第三压力，该第三压力作用在工件上并同时抛光工件。