基板测定装置

摘要

本发明的目的在于提供一种即使在基板大型化的情况下也能够正确地测定基板的基板测定装置。测长仪具有：基座(10)；载物台部(14)，其不会从该基座(10)受到应力，而以其表面相对与铅垂方向倾斜了微小角度的状态被基座(10)支撑；导辊(42)以及升降辊(43)，其用于支撑应进行测定的基板(100)的下端部；架台(15)，其通过由设置在载物台部的上部与下部的导轨(45)引导，能够沿着载物台部(14)的表面向左右方向移动；拍摄部(18)，其通过由设置在该架台(15)上的导轨(53)引导，能够沿着架台(15)向上下方向移动。

主权项

1.一种基板测定装置，其特征在于，具有：基座；载物台部，其不会受到来自上述基座的应力，而以其表面相对于铅垂方向倾斜了微小角度的状态被上述基座支撑着；基板支撑构件，其用于支撑应进行测定的基板的下端部，并且设置在上述载物台部的下方；架台，其由设置在上述载物台部的上部与下部的引导构件引导，从而能够沿着上述载物台部的表面向左右方向移动；拍摄部，其由设置在上述架台上的引导构件引导，从而能够沿着上述架台向上下方向移动。