用于溅镀设备更换靶材的辅助装置

摘要

本实用新型涉及一种用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，主要包括：一溅镀靶源，其主要包括一叠置的阴极本体及靶材；一旋转机构，其设于溅镀靶源的侧边中段位置，该旋转机构可驱动溅镀靶源旋转其角度至更换靶材过当位置，该旋转机构下方设一基架，该基架承载该旋转机构；一伸缩机构，该伸缩机构与基架通过连接元件连接，该伸缩机构制动基架以及旋转机构伸缩以间接连动溅镀靶源形成升降；一辅助伸缩机构，该辅助伸缩机构设于溅镀靶源的一侧边并对应该旋转机构的位置，辅助伸缩机构与伸缩机构对溅镀靶源二侧形成伸缩的平衡。本实用新型有益效果：节省人力搬运，利于更换靶材。

主权项

1、一种用于溅镀设备更换靶材的辅助装置，包括溅镀靶源(1)，该溅镀靶源(1)主要包括一叠置的阴极本体(11)及靶材(12)，其特征在于，所述辅助装置还包括：一旋转机构(2)，该旋转机构(2)设于溅镀靶源(1)的侧边中段位置，该旋转机构(2)设一驱动机构(21)，该驱动机构(21)连接一轴杆(211)，该旋转机构(2)通过轴杆(211)与阴极本体(11)连接；该旋转机构(2)下方设一基架(22)，通过该基架(22)承载旋转机构(2)；一伸缩机构(3)，该伸缩机构(3)与基架(22)通过连接元件(34)连接，该伸缩机构(3)主要包括一压缸(31)，压缸(31)通过连通管(33)连通一压棒(32)；一辅助伸缩机构(4)，该辅助伸缩机构(4)设于溅镀靶源(1)的一侧边并对应旋转机构(2)的位置，该辅助伸缩机构(4)主要包括一压缸(45)，压缸(45)通过连通管连通一压棒(46)，辅助伸缩机构(4)与伸缩机构(2)对溅镀靶源(1)二侧形成伸缩的平衡，其中该辅助伸缩机构(4)通过一基架(41)形成支持，该基架(41)顶部设一连接元件(42)，且该基架(41)设一连接杆(44)串联连接元件(42)与一挂具(43)。