发明名称 空间光调制器、操作空间光调制器的方法及投影系统
摘要 公开了一种空间光调制器及其操作方法,以及投影系统,该调制器包括像素阵列,包括在可透光衬底上的多个微镜,每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板;第一制动机构,用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处;第二制动机构,用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处;至少一个电极,用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜;以及所述至少一个电极中的一个电极设置在该可透光衬底上。
申请公布号 CN100535706C 申请公布日期 2009.09.02
申请号 CN200480013167.6 申请日期 2004.05.13
申请人 反射公司 发明人 萨蒂亚德夫·R·帕特尔;安德鲁·G·赫伊伯斯;克里斯托弗·斯平特;彼得·厄罗克斯
分类号 G02B26/00(2006.01)I 主分类号 G02B26/00(2006.01)I
代理机构 永新专利商标代理有限公司 代理人 夏 青
主权项 1、一种空间光调制器,包括:像素阵列,包括在可透光衬底上的多个微镜,每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板;第一制动机构,用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处;第二制动机构,用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处;至少一个电极,用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜;以及所述至少一个电极中的一个电极设置在该可透光衬底上。
地址 美国加利福尼亚州