发明名称 |
空间光调制器、操作空间光调制器的方法及投影系统 |
摘要 |
公开了一种空间光调制器及其操作方法,以及投影系统,该调制器包括像素阵列,包括在可透光衬底上的多个微镜,每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板;第一制动机构,用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处;第二制动机构,用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处;至少一个电极,用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜;以及所述至少一个电极中的一个电极设置在该可透光衬底上。 |
申请公布号 |
CN100535706C |
申请公布日期 |
2009.09.02 |
申请号 |
CN200480013167.6 |
申请日期 |
2004.05.13 |
申请人 |
反射公司 |
发明人 |
萨蒂亚德夫·R·帕特尔;安德鲁·G·赫伊伯斯;克里斯托弗·斯平特;彼得·厄罗克斯 |
分类号 |
G02B26/00(2006.01)I |
主分类号 |
G02B26/00(2006.01)I |
代理机构 |
永新专利商标代理有限公司 |
代理人 |
夏 青 |
主权项 |
1、一种空间光调制器,包括:像素阵列,包括在可透光衬底上的多个微镜,每个微镜包括设置在该可透光衬底上的微镜板;第一制动机构,用于将所述微镜制动在处于接通位置的第一预定角度处;第二制动机构,用于将所述微镜制动在处于关闭位置的第二预定角度处;至少一个电极,用于在所述接通位置和所述关闭位置之间移动所述微镜;以及所述至少一个电极中的一个电极设置在该可透光衬底上。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |