| 发明名称 | 研磨装置、研磨方法、处理装置 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种能够在研磨前通过简单的操作算出研磨带供给卷轴和研磨带回收卷轴的研磨带卷绕体的外径，能够根据该外径算出研磨带的剩余量、使用量等的研磨装置及研磨方法。研磨装置具有研磨带供给卷轴(46)、研磨头(44)和研磨带拉出机构(G1)，并且具有经过研磨头(44)从研磨带供给卷轴(46)回收研磨带(43)的研磨带供给/回收机构(45)。研磨带供给/回收机构(45)具有给研磨带供给卷轴(46)施加旋转转矩、给经过研磨头(44)的研磨带(43)施加预定张力的马达(Mb)，以及检测该研磨带供给卷轴(46)的旋转角度的旋转角度检测器(REa)。 | ||
| 申请公布号 | CN101522368A | 申请公布日期 | 2009.09.02 |
| 申请号 | CN200780037179.6 | 申请日期 | 2007.10.02 |
| 申请人 | 株式会社荏原制作所 | 发明人 | 高桥圭瑞;伊藤贤也;关正也;草宏明 |
| 分类号 | B24B21/20(2006.01)I;B24B21/18(2006.01)I;H01L21/304(2006.01)I | 主分类号 | B24B21/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 永新专利商标代理有限公司 | 代理人 | 黄剑锋 |
| 主权项 | 1. 一种研磨装置，具有研磨带供给卷轴、研磨头、和研磨带拉出机构，并且具有经过上述研磨头而从上述研磨带供给卷轴回收研磨带的研磨带供给/回收机构，使经过上述研磨头的上述研磨带与研磨对象物相抵接，利用该研磨带与该研磨对象物的相对运动来研磨该研磨对象物；其特征在于：上述研磨带供给/回收机构具有给上述研磨带供给卷轴施加旋转转矩、给经过上述研磨头的上述研磨带施加预定张力的马达，以及检测该研磨带供给卷轴的旋转角度的旋转角度检测器。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||