发明名称 METHOD AND SYSTEM FOR LOGIC DESIGN FOR CELL PROJECTION PARTICLE BEAM LITHOGRAPHY
摘要
申请公布号 EP2095279(A1) 申请公布日期 2009.09.02
申请号 EP20070871641 申请日期 2007.11.29
申请人 D2S, INC. 发明人 FUJIMURA, AKIRA;MITSUHASHI, TAKASHI;YOSHIDA, KENJI
分类号 G06F17/50 主分类号 G06F17/50
代理机构 代理人
主权项
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