一种聚酰亚胺表面等离子体轰击效果的检测方法

摘要

本发明属于挠性印制电路板技术领域，具体涉及一种聚酰亚胺表面等离子体轰击效果的检测方法。具体以等离子体放电，轰击基板架上经过洗涤剂、去离子水、分析纯酒精清洁的聚酰亚胺膜，然后用接触角测量仪测量聚酰亚胺膜上水滴的接触角并取其平均值，从而了解聚酰亚胺膜的等离子体轰击处理效果。这样大大改善有关剥离强度的等离子体轰击工艺，获得最佳的等离子体轰击工艺参数。

主权项

1、一种聚酰亚胺表面等离子体轰击效果的检测方法，其特征在于具体步骤如下：先用洗涤剂、去离子水、分析纯酒精清洁聚酰亚胺膜；将清洁的聚酰亚胺膜放入真空镀膜机真空室的基板架上，将真空室中抽到1.0-3.0×10-3Pa后，充入氧气或氩气到2.0-3.0×10-2Pa，调节主阀，使真空室气压维持在3-20Pa之间，在放电电极加电压进行等离子体放电，轰击基板架上的聚酰亚胺膜；轰击时间为5-30min，轰击电流为30-100mA；轰击结束后，将聚酰亚胺膜取出，用接触角测量仪测量水滴的接触角，取其平均值；通过接触角的大小即可了解聚酰亚胺膜的等离子体轰击处理效果。