发明名称 ИСПАРИТЕЛЬ ДЛЯ ОРГАНИЧЕСКИХ МАТЕРИАЛОВ
摘要 1. Испаритель для испарения органических материалов, содержащий: ! первую камеру, имеющую сопло, выполненное для направления на подлежащий покрытию субстрат; ! по меньшей мере, одну вторую камеру для испарения органического материала; ! по меньшей мере, один испарительный канал для направления испаренного органического материала по меньшей мере из одной второй камеры в первую камеру; в котором первая камера выполнена для обеспечения испаренным органическим материалом сопла, соответствующего первой виртуальной поверхности сублимации, и при этом одна или более камер по меньшей мере из одной второй камеры выполнена для обеспечения во время работы объединенной площади второй поверхности сублимации, причем объединенная площадь второй поверхности сублимации соответствует по меньшей мере 70% первой виртуальной поверхности сублимации. ! 2. Испаритель по п.1, в котором первая виртуальная поверхность сублимации соответствует поверхности сублимации, если органический материал испаряют в первой камере. ! 3. Испаритель по п.1, в котором площадь второй поверхности сублимации соответствует по меньшей мере 90%, в частности 95% первой виртуальной поверхности сублимации. ! 4. Испаритель по п.1, в котором сопло имеет продольную ось и длину L по продольной оси между около 1000 мм и около 3500 мм, в частности между около 2000 и около 3000 мм. ! 5. Испаритель по п.4, в котором первая виртуальная поверхность сублимации обеспечена первым размером с длиной около 170 мм и вторым размером такой же длины, что и сопло. !6. Испаритель по п.1, в котором поверхность сублимации представляет собой поверхность одной из первой или второй камеры, покрытую органиче
申请公布号 RU2011116917(A) 申请公布日期 2012.11.10
申请号 RU20110116917 申请日期 2009.09.29
申请人 ЭППЛАЙД МАТЕРИАЛС, ИНК. (US) 发明人 ХАЙН Штефан (DE);ХОФФМАНН Герд (DE)
分类号 C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
地址