发明名称 |
СПОСОБ ФОРМИРОВАНИЯ ИЗОБРАЖЕНИЯ В МЕТАЛЛИЗАЦИИ |
摘要 |
Способ формирования изображения в слое металлизации, путем удаления участков металлизации химическим травлением, отличающийся тем, что перед операцией травления контуры подлежащих удалению участков металлизации очерчивают лазерным лучом по замкнутым контурам на всю глубину металлизации, а процесс травления инициируют прикосновением к оконтуренному участку заземленным металлическим стержнем. |
申请公布号 |
RU2011116854(A) |
申请公布日期 |
2012.11.10 |
申请号 |
RU20110116854 |
申请日期 |
2011.04.27 |
申请人 |
Государственное образовательное учреждение высшего профессионального образования "Санкт-Петербургский государственный электротехни |
发明人 |
Жабрев Валентин Александрович (RU);Марголин Владимир Игоревич (RU);Тупик Виктор Анатольевич (RU);Шелудько Виктор Николаевич (RU) |
分类号 |
H01L21/00 |
主分类号 |
H01L21/00 |
代理机构 |
|
代理人 |
|
主权项 |
|
地址 |
|