| 摘要 |
1. Катодно-распылительный узел магнетрона, включающий корпус в форме пенала с основанием, плоскую мишень протяженной формы из распыляемого материала, закрепленную с помощью боковой рамки и винтов напротив основания корпуса, магнитную систему и охладитель в форме соосных торов, размещенных между основанием корпуса и плоской мишенью по центру корпуса, при этом в корпусе по его центру дополнительно установлен газораспределитель, а основание корпуса снабжено патрубком для ввода рабочих газов, отличающийся тем, что мишень выполнена из плоских элементов, прижимаемых к охладителю боковой рамкой и центральной вставкой, причем поверхность плоских элементов расположена ниже деталей рамки и вставки. ! 2. Катодно-распылительный узел магнетрона по п.1, отличающийся тем, что коэффициент распыления материала рамки и центральной вставки ниже коэффициента распыления материала мишени. ! 3. Катодно-распылительный узел магнетрона по п.1, отличающийся тем, что центральная вставка, прижимая мишень, находится непосредственно в тепловом контакте с охладителем. ! 4. Катодно-распылительный узел магнетрона, включающий корпус в форме пенала с основанием, плоскую мишень протяженной формы из распыляемого материала, закрепленную с помощью боковой рамки и винтов напротив основания корпуса, магнитную систему и охладитель в форме соосных торов, размещенных между основанием корпуса и плоской мишенью по центру корпуса, при этом в корпусе по его центру дополнительно установлен газораспределитель, а основание корпуса снабжено патрубком для ввода рабочих газов, отличающийся тем, что мишень выполнена из плоских элементов, прижимаемых к охл� |
