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发明名称 Verfahren zur Herstellung eines mikromechanischen Bauelements
摘要
申请公布号 DE19819456(B4) 申请公布日期 2011.06.09
申请号 DE19981019456 申请日期 1998.04.30
申请人 ROBERT BOSCH GMBH 发明人 SKAPA, HELMUT;MUENZEL, HORST;LAERMER, FRANZ;OFFENBERG, MICHAEL;VOSSENBERG, HEINZ-GEORG
分类号 B81C1/00;G01P15/125;B62D57/00;B81B3/00;B81B7/00;B81C3/00;G01P1/02;G01P15/08;G01P15/12;H01L21/306;H01L29/84 主分类号 B81C1/00
代理机构 代理人
主权项
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