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发明名称 METHOD FOR COMPOSITION OF SILICON NANO STRUCTURES USING ORGANOMONOSILANE AND SILICON TETRACHLORIDE
摘要
申请公布号 KR101040449(B1) 申请公布日期 2011.06.09
申请号 KR20090009901 申请日期 2009.02.06
申请人 发明人
分类号 C01B33/021;B82B3/00;B82Y40/00 主分类号 C01B33/021
代理机构 代理人
主权项
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