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发明名称 METHOD FOR DIRECT-LASER PATTERNING OF THIN FILM
摘要
申请公布号 KR101039549(B1) 申请公布日期 2011.06.09
申请号 KR20090028776 申请日期 2009.04.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/306;G03F7/20;H01L21/027;H01L21/268 主分类号 H01L21/306
代理机构 代理人
主权项
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