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发明名称
Vakuumabscheidungsvorrichtung des aufwickelnden Typs
摘要
申请公布号
DE112008003721(T5)
申请公布日期
2011.06.09
申请号
DE200811003721T
申请日期
2008.04.14
申请人
ULVAC INC.
发明人
YOKOI, SHIN;NOMURA, TSUNEHITO;NAKATSUKA, ATSUSHI;TADA, ISAO
分类号
C23C14/58;C23C14/14;C23C14/56
主分类号
C23C14/58
代理机构
代理人
主权项
地址
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