Chemisch-mechanisches Polierpad mit Fenster mit integrierter Identifizierungsfunktion,申请号DE200960001168T-传众专利搜索

发明名称	Chemisch-mechanisches Polierpad mit Fenster mit integrierter Identifizierungsfunktion
摘要
申请公布号	DE602009001168(D1)	申请公布日期	2011.06.09
申请号	DE200960001168T	申请日期	2009.03.13
申请人	ROHM AND HAAS ELECTRONIC MATERIALS CMP HOLDINGS INC.	发明人	KULP, MARY JO;SIMON, ETHAN SCOTT;STRING, DARRELL
分类号	B24B7/22;B24B37/04;B24D13/14	主分类号	B24B7/22
代理机构		代理人
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