| 发明名称 |
Focus finding and alignment using a split linear mask |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
AU2009230797(B2) |
申请公布日期 |
2011.06.09 |
| 申请号 |
AU20090230797 |
申请日期 |
2009.10.28 |
| 申请人 |
CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
MATTHEW R. ARNISON;TUAN QUANG PHAM |
| 分类号 |
G02B27/40;G02B7/04;G03B3/10 |
主分类号 |
G02B27/40 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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