研磨液配比机台以及研磨液供给系统

摘要

本实用新型公开了一种研磨液配比机台以及研磨液供给系统，所述研磨液配比机台包括称重计以及设置于称重计上的配比容器，所述配比容器包括：主体、由主体限定的容置空间以及设置于容置空间内的隔板，所述隔板将所述容置空间划分为第一容置空间和第二容置空间，所述主体上开设有第一进液口和第一排液口，所述第一容置空间内存储有预设数量的第一液体，所述第一液体由所述第一进液口流进所述第一容置空间，并经所述第一排液口排出。本实用新型可确保配比过程顺利进行，并确保供给至化学机械研磨机台的研磨液数量符合工艺要求。

主权项

一种研磨液配比机台，包括称重计以及设置于所述称重计上的配比容器，其特征在于，所述配比容器包括：主体、由所述主体限定的容置空间以及设置于所述容置空间内的隔板，所述隔板将所述容置空间划分为第一容置空间和第二容置空间，所述主体上开设有第一进液口和第一排液口，所述第一容置空间内存储有预设数量的第一液体，所述第一液体由所述第一进液口流进所述第一容置空间，并经所述第一排液口排出。