| 发明名称 | 一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统 | ||
| 摘要 | 一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统，包括真空镀膜室、制冷盘管、高真空机组和低真空预抽机组，其特征在于：所述的高洁净真空抽气系统还包括高真空抽气管道、高真空抽气管道预抽机组，所述低真空预抽机组通过预抽真空管道与所述真空镀膜室相连通，所述高真空抽气管道与真空镀膜室相连通，高真空抽气管道与真空镀膜室的连接处设有真空闸板阀，所述制冷盘管安装在高真空抽气管道内部，所述高真空抽气管道预抽机组与高真空抽气管道相连通，所述高真空机组与高真空抽气管道相连通，高真空机组与高真空抽气管道的连接处设有高真空阀。 | ||
| 申请公布号 | CN201857423U | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN201020597023.2 | 申请日期 | 2010.11.09 |
| 申请人 | 东莞市汇成真空科技有限公司 | 发明人 | 李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 |
| 分类号 | C23C14/22(2006.01)I | 主分类号 | C23C14/22(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州知友专利商标代理有限公司 44104 | 代理人 | 周克佑 |
| 主权项 | 一种用于真空镀膜机的高洁净真空抽气系统，包括真空镀膜室、制冷盘管、高真空机组和低真空预抽机组，其特征在于：所述的高洁净真空抽气系统还包括高真空抽气管道、高真空抽气管道预抽机组，所述低真空预抽机组通过预抽真空管道与所述真空镀膜室相连通，所述高真空抽气管道与真空镀膜室相连通，高真空抽气管道与真空镀膜室的连接处设有真空闸板阀，所述制冷盘管安装在高真空抽气管道内部，所述高真空抽气管道预抽机组与高真空抽气管道相连通，所述高真空机组与高真空抽气管道相连通，高真空机组与高真空抽气管道的连接处设有高真空阀。 | ||
| 地址 | 523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区 | ||