反射防止膜、光学元件及光学系统

摘要

本发明提供一种反射防止膜(C1)，其是由设置在光学基板(100)和粘接层(200)之间的合计6层而构成的多层膜，从粘接层(200)侧依次层叠第1层(1)至第6层(6)的各层。作为反射防止膜(C1)的整体折射率，比光学基板(100)的折射率低，且比粘接层(200)的折射率高。第1层(1)及第3层(3)为例如对d线显示出1.35以上1.50以下的折射率的低折射率层。第2层(2)、第4层(4)及第6层(6)为例如对d线显示出1.55以上1.85以下的折射率的中间折射率层。第5层(5)为例如对d线显示出1.70以上2.50以下的范围内表示比中间折射率层高的折射率的高折射率层。从而即使在接合具有较高折射率的光学部件的情况，也能够在充分宽的带域显示出较低的反射率。

主权项

一种光学元件，其特征在于，备有：光学构件；其它光学构件；粘结层；设置在所述光学构件和所述粘接层之间并至少包含从上述粘接层侧依次层叠的第1至第6层的多层膜，所述光学构件和所述其它光学构件通过该粘结层而接合，上述多层膜的整体的等价折射率，比上述光学构件的折射率低，且比上述粘接层的折射率高，上述第2、第4及第6层的折射率比上述第1及第3层的折射率高，且比上述第5层的折射率低，进一步满足以下所有的条件式(1)～(6)：0.06×λ0≤N1·d1≤0.11×λ0……(1)0.07×λ0≤N2·d2≤0.13×λ0……(2)0.06×λ0≤N3·d3≤0.18×λ0……(3)0.31×λ0≤N4·d4≤0.43×λ0……(4)0.04×λ0≤N5·d5≤0.09×λ0……(5)0.06×λ0≤N6·d6≤0.18×λ0……(6)这里，λ0：中心波长N1～N6：在从第1至第6层对中心波长λ0的折射率；d1～d6：从第1至第6层的物理性膜厚。