微型傅立叶变换分光光度计

摘要

微型傅立叶变换分光光度计提供了通过傅立叶变换光谱学技术在微型化设备中确定气体或液体的采集样品的光吸收/传输光谱的能力。该设备采用来自光纤的光输入，通过微型光学元件操纵光，并将其发射到具有获取光输入干涉图的扫描镜的迈克尔逊干涉仪中。干涉图可进行处理以取回输入光的光谱。新颖的多阶梯式微反射镜在微型化干涉仪中用作光程长度调制器。特有的整体分光器/反射镜组合提供准确的元件对齐，并极大地简化产品集成。该设备被设计成覆盖感兴趣的各种光学光谱。在工作期间，设备中微制造元件的精确度和准确度允许甚至在极低波长下工作和分析。另外，设备的微型化特性允许其被用于新型及空间极度受限的应用中。

主权项

一种微型傅立叶变换分光光度计，包括：第一衬底；迈克尔逊干涉仪，包括：立方体分光器，它与光程长度调制器和固定反射镜结合成整体，所述光程长度调制器是整体多阶梯式反射镜阵列，所述整体多阶梯式反射镜阵列包括多个阶梯式反射镜元件，所述阶梯式反射镜元件具有阶梯高度，所述阶梯高度是在所述多阶梯式反射镜阵列上的一系列阶梯式列的函数，其中第一列阶梯中的第一阶梯与所述整体多阶梯式反射镜阵列的衬底的表面处于相同水平面，第二阶梯降低等于一个阶深的距离，第三阶梯降低另一个阶深，这种相同增量的降低持续到多反射镜阶梯第一列中的最低阶梯，第二列阶梯中的第一个阶梯比第一列中的最低阶梯深一个阶深，每一相继列中的最高阶梯比前一列中的最低阶梯要低一个阶梯长度的距离，这种步进过程持续到最深阶梯；以及检测器。