申请人 |
ASML NETHERLANDS BV;KONINKLIJKE PHILIPS ELECTRONICS N.V. |
发明人 |
SOER, WOUTER, ANTHON;YAKUNIN, ANDREI, MIKHAILOVICH;JAK, MARTIN, JACOBUS, JOHAN;MATHEW, DENNY;KETTELARIJ, HENDRIK, JAN;VAN DEN HEUVEL, FREDERICUS, CHRISTIAAN;KUIJPERS, PETRUS, ELIZABETH, MARIA |