表面声波元件及其制作方法

摘要

一种表面声波元件，其包括一基片、一设于基片上的压电薄膜层及二换能器，该二换能器设于该压电薄膜层上，且该第一换能器与该第二换能器声耦合。其中，每一换能器包括一第一电极母条及一第二电极母条，该第一电极母条及第二电极母条与二电极连接，连接该第一电极母条的二电极分别与连接第二电极母条的二电极相配合围成螺旋状，因而其电极重叠长度长，可有效降低插入损耗。另外，螺旋状电极的长短、宽度及间距等参数，可在设计上不断变化，从而控制表面声波元件的插入损耗、频宽及表面声波速度等参数，从而提高表面声波元件及其应用系统的设计自由度。

主权项

一种表面声波元件，其包括一基片、一设于基片上的压电薄膜层、一第一换能器及一第二换能器，该第一换能器及第二换能器设于该压电薄膜层上，且其相互声耦合，其特征在于：该第一换能器包括一第一电极母条及一第二电极母条，该第一电极母条上连接有一第一电极、一第二电极及一电信号输入端，该第二电极母条上连接有一第三电极、一第四电极及一接地端，第一电极与第三电极相对设置，并相互配合围绕成一组螺旋状电极，第二电极与第四电极相对设置，并相互配合围绕成一组螺旋状电极，该电信号输入端与接地端形成第一换能器的两极；该第二换能器包括一第三电极母条及一第四电极母条，该第三电极母条上连接有一第五电极、一第六电极及一电信号输出端，该第四电极母条上连接有一第七电极及一第八电极，第五电极与第七电极相对设置，并相互配合围绕成一组螺旋状电极，第六电极与第八电极相对设置，并相互配合围绕成一组螺旋状电极，该电信号输出端与接地端形成第二换能器的两极。