制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法

摘要

制造印板的方法和通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。本发明的目的是提供用于制造可以防止形成有缺陷的薄膜图案的印板的方法，以及通过使用该方法来形成薄膜图案的方法。制造印板的方法包括以下步骤：提供具有第一区域和第二区域的底基板；在第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案并在第二区域处形成具有比第一宽度更宽的第二宽度和与第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露第二区域并覆盖第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。

主权项

一种制造印板的方法，该方法包括以下步骤：提供具有第一区域和第二区域的底基板；在所述第一区域处形成具有第一深度和第一宽度的第一凹入图案，并在所述第二区域处形成具有比所述第一宽度更宽的第二宽度和与所述第一深度相同的深度的第二凹入图案；形成用于暴露所述第二区域并覆盖所述第一区域的保护膜，所述保护膜具有粘附性；通过使用具有粘附性的所述保护膜，将所述第二凹入图案形成为具有比在所述第一区域处的所述第一凹入图案的所述第一深度更深的第二深度；以及去除所述保护膜。