一种单晶生长热系统的煅烧处理装置

摘要

本实用新型涉及加工太阳能硅电池的单晶生长炉技术。一种单晶生长热系统的煅烧处理装置，在矩形框架的机架(3)上方固定设置一个圆筒形或矩形炉体(1)，炉底(1c)放置在垫板(7)上，垫板(7)的下部安装两排滚轮(8)，并放置在托板(9)上，托板(9)由升降机构驱动可上下移动，与托板(9)位于机架(3)底部的位置相平齐，横向平行设置两根与两排滚轮(8)相对应的导轨(12)；托板(9)上的滚轮(8)由横向驱动机构驱动可在导轨(12)上作水平移动；在炉体(1)内设置棒状电加热器(14)；炉体(1)的炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)由金属外壳和保温层组成。本实用新型首创专制供煅烧处理单晶炉热系统的装置；以整套或拆散方式放置在专用煅烧容器内煅烧，更加灵活机动，提高煅烧处理效果和效率，节省能源。

主权项

一种单晶生长热系统的煅烧处理装置，其特征在于：在矩形框架的机架(3)上方固定设置一个圆筒形或矩形，包括炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)的炉体(1)，炉体(1)内的体积大于等于包括石墨器件、保温层的一套单晶炉热系统外形尺寸；炉底(1c)放置在垫板(7)上，垫板(7)的下部安装两排滚轮(8)，并放置在托板(9)上，托板(9)由升降机构驱动可上下移动，向下可移动至机架(3)的底部；与托板(9)位于机架(3)底部的位置相平齐，横向平行设置两根与两排滚轮(8)相对应的导轨(12)；托板(9)上的滚轮(8)由横向驱动机构驱动可在导轨(12)上作水平移动；在炉体(1)内炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)上分别设置棒状电加热器(14)；炉体(1)的炉身(1b)、炉盖(1a)和炉底(1c)由金属外壳和保温层组成；炉盖(1a)上设有充气孔、测温孔及炉盖压紧锁口；所述装置采用真空泵及增压泵(10)、减速电机、电加热器(14)，由控制器(13)经包括温度传感器、真空压力传感器、时间继电器、行程开关对装置运行进行控制。