双极型静电卡盘

摘要

本发明提供一种施加电压时的基板吸附性优良并且停止施加电压时的残余电荷的减少性优良的双极型静电卡盘。该双极型静电卡盘是至少具备具有第一以及第二电极的电极层、形成吸附基板的基板吸附面的上部绝缘层的双极型静电卡盘，当将电极层的表面相对于xy方向分割为具有规定的宽度L的多个假想单元的情况下，形成第一电极的第一电极部和形成第二电极的第二电极部相对于x方向的假想单元交替排列地配置，并且相对于y方向的假想单元交替排列地配置。

主权项

一种双极型静电卡盘，其至少具备具有第一以及第二电极的电极层、形成吸附基板的基板吸附面的上部绝缘层，该双极型静电卡盘的特征在于，在将电极层的表面相对于xy方向分割成具有规定的宽度L的多个假想单元来看的情况下，形成第一电极的第一电极部和形成第二电极的第二电极部相对于x方向的假想单元交替排列地配置，并且相对于y方向的假想单元交替排列地配置。