采用LED背光板和平行通光筒的晶圆级图像传感器测试装置

摘要

一种采用LED背光板和平行通光筒的晶圆级图像传感器测试装置，它包括光源（2）和探针卡（4），探针卡（4）放置于待测试晶圆（1）的上方，探针卡（4）上的探针（5）与待测试晶圆（1）上CIS芯片（6）的被测焊垫或凸块直接接触，光源（2）置于探针卡（4）的上方，使得光线照射在CIS芯片（6）上，所述的光源（2）为LED背光板，在LED背光板和探针卡（4）之间设有平行通光筒（3），该平行通光筒（3）上设有若干个挡板（7）。本实用新型引入了LED作为背光源，既提供有效光照，又降低了热噪声，通光筒这一部件的加入，保证了入射到CIS芯片中的光线为平行光线，其结构简单，实用性好，有效提高了测试的准确性。

主权项

一种采用LED背光板和平行通光筒的晶圆级图像传感器测试装置，它包括光源（2）和探针卡（4），探针卡（4）放置于待测试晶圆（1）的上方，探针卡（4）上的探针（5）与待测试晶圆（1）上CIS芯片（6）的被测焊垫或凸块直接接触，光源（2）置于探针卡（4）的上方，使得光线照射在CIS芯片（6）上，其特征是所述的光源（2）为LED背光板，在LED背光板和探针卡（4）之间设有平行通光筒（3），该平行通光筒（3）上设有若干个挡板（7）。