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发明名称 POLISHING HEAD FOR A POLISHING MACHINE
摘要
申请公布号 EP1251997(B2) 申请公布日期 2011.06.08
申请号 EP20010909601 申请日期 2001.01.11
申请人 DE 发明人 DE
分类号 B24B13/02;B24B41/04;B24B45/00;B24B47/10;B24B49/16 主分类号 B24B13/02
代理机构 代理人
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