| 发明名称 | 光罩传送方法及装置 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。本发明在取板抓手的安全顶针前端安装传感器，探测安全顶针与光罩锁轮凹槽之间接触状况，在安全顶针与光罩锁轮凹槽接触时停止传送并发出警报，解决了安全顶针与光罩锁轮凹槽接触发生摩擦产生铁屑的问题，有效地避免了光罩传送时铁屑对光罩的污染，减少了废品的产生，极大的节约了成本。 | ||
| 申请公布号 | CN102087474A | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN200910188499.2 | 申请日期 | 2009.12.03 |
| 申请人 | 无锡华润上华半导体有限公司;无锡华润上华科技有限公司 | 发明人 | 宣胤杰;张贤识;梁孙欢 |
| 分类号 | G03F7/20(2006.01)I;B25J9/08(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 代理机构 | 广州华进联合专利商标代理有限公司 44224 | 代理人 | 何平 |
| 主权项 | 一种光罩传送方法，包括如下步骤：取板抓手沿光罩锁轮凹槽方向行进，安全顶针前端伸进光罩锁轮的凹槽中；检测安全顶针前端与光罩锁轮凹槽是否接触；在安全顶针与光罩锁轮凹槽没有接触时传送光罩，接触时停止传送并发出警报。 | ||
| 地址 | 214000 江苏省无锡市国家高新技术产业开发区汉江路5号 | ||