| 发明名称 | 放射线敏感性树脂组合物 | ||
| 摘要 | 本发明提供一种放射线敏感性树脂组合物，其可形成分辨性能优异且纳米边缘粗糙度小的化学增幅型抗蚀剂。该放射线敏感性树脂组合物含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂。通式(1)中，R<sup>1</sup>表示1价烃基等。<img file="200980127305.6_ab_0.GIF" wi="276" he="60" /> | ||
| 申请公布号 | CN102089709A | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN200980127305.6 | 申请日期 | 2009.07.13 |
| 申请人 | JSR株式会社 | 发明人 | 下川努;江畑琢磨;酒井香织;大泉芳史;征矢野晃雅;大塚昇 |
| 分类号 | G03F7/004(2006.01)I;G03F7/039(2006.01)I;H01L21/027(2006.01)I | 主分类号 | G03F7/004(2006.01)I |
| 代理机构 | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人 | 左嘉勋;顾晋伟 |
| 主权项 | 1.一种放射线敏感性树脂组合物，其含有(A)具有下述通式(1)所示的部分结构的磺酸盐或含有磺酸基的放射线敏感性酸产生剂、和(B)树脂，<img file="FPA00001293858800011.GIF" wi="1100" he="273" />通式(1)中，R<sup>1</sup>表示取代或非取代的碳原子数为1～30的直链状或支链状的1价烃基、取代或非取代的碳原子数为3～30的环状或具有环状部分结构的1价烃基、取代或非取代的碳原子数为6～30的芳基、或者取代或非取代的碳原子数为4～30的1价的具有或不具有杂原子的环状有机基团。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||