用集成机械微悬臂通过垂直应力梯度控制来减轻静摩擦

摘要

本发明涉及减轻机电装置中的静摩擦。在一些实施例中，机电装置可具备一个或一个以上提供用于减轻静摩擦的辅助机械力的回复部分。所述回复部分可实施为一个或一个以上可偏转元件，其中所述可偏转元件可具有各种配置或形状，例如人字形、形等等。举例来说，所述回复部分可为悬臂，其在至少一个组件接触或靠近另一组件时偏转。也可使用多个回复部分，且战略上将其放置于所述机电装置内，以使其在减轻静摩擦方面的有效性增至最大。

主权项

一种机电装置，所述装置包括：第一组件；第二组件，其可在第一方向上相对于所述第一组件移动；以及至少一个回复部分，其位于所述第二组件上，在与所述第一方向相反的第二方向上向所述第二组件施加回复力，所述至少一个回复部分包括至少一个偏转部分，所述偏转部分与穿过所述第二组件的开口毗接，且在所述第一和第二组件彼此分开时朝所述第一组件延伸。