微机电元件及微机电弹簧元件

摘要

本发明是有关于一种微机电元件及微机电弹簧元件，其中该微机电弹簧元件，包括基底、固定部以及可动部。其中，固定部固定在基底上。可动部具有连接于固定部的第一端与悬浮于基底上方的第二端，并且包括多层金属层以及连接于相邻的金属层之间的支撑层，而支撑层与其所连接的这些金属层之间具有中空区域。由于上述微机电弹簧元件采用中空结构，因此可避免在微机电弹簧元件受环境或封装温度变化时，因金属层与其间的膜层的热膨胀系数不同而导致可动部弯曲变形，从而确保微机电弹簧元件具有良好的工作性能。

主权项

一种微机电弹簧元件，配置于一基底上，其特征在于其包括：一固定部，固定于该基底上，该固定部包括：一绝缘层，配置于该基底上；多层金属固定层，配置于该绝缘层上方；多层支撑固定层，连接于该些金属固定层之间；以及一可动部，具有一第一端与一第二端，该第一端连接于该固定部，而该第二端悬浮于该基底上方，该可动部包括：多层金属层；以及至少一支撑层，连接于相邻的该些金属层之间，且该至少一支撑层与其所连接的该些金属层之间具有至少一中空区域。