| 发明名称 | 一种晶圆清洗装置 | ||
| 摘要 | 一种晶圆清洗装置，包括水箱和放置于所述水箱中的晶圆放置槽，所述水箱设置有进水口和出水口，所述进水口上设置有自动调压阀。综上所述，本实用新型在所述进水口上设置自动调压阀，当待清洗晶圆放入晶圆放置槽后，自动调压阀调节进水口处水压上升，进水口处水压大于出水口处水压，则在水箱内可形成较强的循环水流，所述较强的循环水流冲洗到所述待清洗晶圆的表面，将待清洗晶圆的表面残留的化学物质、金属物质和颗粒冲走，从而达到有效清洗的目的。 | ||
| 申请公布号 | CN201855820U | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
| 申请号 | CN201020564750.9 | 申请日期 | 2010.10.16 |
| 申请人 | 中芯国际集成电路制造（上海）有限公司 | 发明人 | 唐强;李海忠 |
| 分类号 | B08B3/04(2006.01)I | 主分类号 | B08B3/04(2006.01)I |
| 代理机构 | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人 | 屈蘅;李时云 |
| 主权项 | 一种晶圆清洗装置，包括水箱和放置于所述水箱中的晶圆放置槽，所述水箱设置有进水口和出水口，其特征在于，所述进水口上设置有自动调压阀。 | ||
| 地址 | 201203 上海市浦东新区上海市张江路18号 | ||