发明名称 |
一种真空过滤罐 |
摘要 |
本实用新型涉及一种真空过滤罐,该真空过滤罐的罐内设有进气道且在罐体上设有进气口,进气道与进气口相通连;在罐内横向设有上、下通气挡板,通气挡板上具有通气孔;罐内设置有中心出气道,中心出气道与出气口相通连,且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通;在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网,过滤网的上部圆周与中心出气道的外壁相贴近。采用本实用新型,由于采用上小下大的喇叭形状的过滤网,过滤面积增加,可增加过滤效果,同时,灰尘、高温挥发物等在经过倾斜的过滤网后会过滤并落下,而不会形成大量附结,就不会影响真空泵的吸力,确保了单晶炉内真空抽吸效果,在一定程度上保证了单晶成品率。 |
申请公布号 |
CN201855640U |
申请公布日期 |
2011.06.08 |
申请号 |
CN201020576656.5 |
申请日期 |
2010.10.23 |
申请人 |
浙江硅宏电子科技有限公司 |
发明人 |
徐增宏;王土军;方明游;童时潮 |
分类号 |
B01D50/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01D50/00(2006.01)I |
代理机构 |
杭州天正专利事务所有限公司 33201 |
代理人 |
舒良 |
主权项 |
一种真空过滤罐,在罐内设有进气道且在罐体上设有进气口,进气道与进气口相通连;在罐内横向设有上、下通气挡板,通气挡板上具有通气孔;罐内设置有中心出气道,中心出气道与出气口相通连,且上、下通气挡板通过通气孔与进气道、中心出气道相通;其特征在于在上、下通气挡板之间套装有一个上小下大的喇叭形状的过滤网。 |
地址 |
324300 浙江省开化县华埠镇华丰路28号(硅宏) |