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发明名称
摘要
申请公布号 JP4695494(B2) 申请公布日期 2011.06.08
申请号 JP20050318292 申请日期 2005.11.01
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;H01L21/027 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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