发明名称 | 具有呈弯曲部形状的浮动栅的闪存 | ||
摘要 | 可以在构造闪存的浮动栅时使下表面面向衬底平坦而弯曲上表面面向控制栅。在部分实施例中,这样的器件改善了对控制栅的电容耦合,并降低了对其相邻者的电容耦合。 | ||
申请公布号 | CN102087972A | 申请公布日期 | 2011.06.08 |
申请号 | CN201010507045.X | 申请日期 | 2010.09.26 |
申请人 | 英特尔公司;微米技术股份有限公司 | 发明人 | S·唐;K·K·帕拉特;H·刘 |
分类号 | H01L21/28(2006.01)I;H01L27/115(2006.01)I;H01L29/423(2006.01)I;H01L21/8247(2006.01)I | 主分类号 | H01L21/28(2006.01)I |
代理机构 | 上海专利商标事务所有限公司 31100 | 代理人 | 钱慰民;谢喜堂 |
主权项 | 一种方法,包括:形成具有面向控制栅的弯曲表面和面向基础衬底的基本上平直表面的闪存浮动栅。 | ||
地址 | 美国加利福尼亚州 |