放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法

摘要

本发明涉及一种放射线敏感性树脂组合物、层间绝缘膜及其制造方法。本发明提供一种能形成层间绝缘膜的正型放射线敏感性树脂组合物、由该组合物获得的层间绝缘膜和该层间绝缘膜的形成方法，该层间绝缘膜具有优良的涂布性、放射线敏感度和能获得良好的图案形状，同时耐热性、耐溶剂性、光线透过率、耐干蚀性也优良。上述放射线敏感性树脂组合物是含有[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物和[C]通式(1)所示的化合物的正型放射线敏感性树脂组合物。

主权项

1.一种放射线敏感性树脂组合物，其包含[A]碱可溶性树脂、[B]1，2-醌二叠氮化物化合物、和[C]下述通式(1)所示的化合物，R¹-Y¹-X-Y²-R²              (1)式(1)中，X是碳原子数为6～20的2价的直链状脂肪族烃基，Y¹和Y²分别独立地表示单键、酯键、酰胺键或氨基甲酸酯键，R¹和R²分别独立地表示氢原子、碳原子数为1～6的烷基、磺基、硫代苯基、或下述式(i)～(vi)的任何之一表示的基团，但是，Y¹或Y²是单键时，与该Y¹或Y²相连的R¹或R²不是碳原子数为1～6的烷基，并且，Y¹和Y²同时是单键时，R¹和R²不同时是氢原子；式(i)～(Vi)中，R³是氢原子或碳原子数为1～6的烷基，R⁴是氢原子或甲基，m是0～6的整数，但是，上述式(2)中的Y¹或Y²是单键时，与该Y¹或Y²相连的R¹或R²中的m是0。