形成图案的方法以及制造电子元件的方法

摘要

一种图案化方法包括：第一步骤，通过用液体组合物涂敷第一板(10)并加热该第一板(10)而形成导电薄膜(D)；第二步骤，通过用表面上具有不规则图案形状的第二板(20)冲压第一板(10)的形成有导电膜(D)的表面并且通过将导电膜(D)的不需要的图案转印到第二板(20)的凸起(20a)的上表面以移除不需要的图案而在第一板上形成导电图案D’；以及第三步骤，通过用第一板(10)的形成有导电图案(D’)的表面冲压基板(30)的表面而将导电图案(D’)转印到基板(30)的要将图案转印到其上的表面上。液体组合物包含在加热的第一板(10)的表面温度下具有133Pa或者更小的蒸气压的溶剂。还提出了一种制造电子元件的方法。通过稳定液体组合物涂布的状态，可以以很好的重复性稳定地形成微细且精密的图案。

主权项

一种形成图案的方法，其特征在于包括：第一步骤，通过将液体组合物涂敷到第一板上而形成液体组合物涂布膜，并加热所述第一板，从室温到30℃至90℃的范围；第二步骤，通过将在表面侧具有凸起和凹槽图案的第二板压到所述第一板的形成有所述液体组合物涂布膜的表面侧，以将所述液体组合物涂布膜的不需要的图案转印到所述第二板的凸起的上表面，由此移除所述不需要的图案，从而在所述第一板上形成图案；以及第三步骤，通过将所述第一板的形成有所述图案的表面侧压到转印接收基板的表面上而将所述图案转印到所述转印接收基板的表面，其中所述液体组合物包含在加热的所述第一板的表面温度下具有133Pa或者更小的蒸气压的溶剂。