发明名称 |
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱 |
摘要 |
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体,上法兰和下法兰,其特征在于:所述组合冷阱还包括冷却装置和节流阀,所述下法兰安装在冷阱体的下端,上法兰安装在冷阱体的上端,所述冷却装置和节流阀由下而上依次安装在冷阱体的内部。这种组合冷阱结构紧凑、气阻小并且可以保证镀膜区域气流稳定。 |
申请公布号 |
CN201855590U |
申请公布日期 |
2011.06.08 |
申请号 |
CN201020597024.7 |
申请日期 |
2010.11.09 |
申请人 |
东莞市汇成真空科技有限公司 |
发明人 |
李志荣;李志方;罗志明;李秋霞 |
分类号 |
B01D8/00(2006.01)I |
主分类号 |
B01D8/00(2006.01)I |
代理机构 |
广州知友专利商标代理有限公司 44104 |
代理人 |
周克佑 |
主权项 |
一种油扩散泵用的带有节流阀的组合冷阱,包括冷阱体(1),上法兰(3)和下法兰(2),其特征在于:所述组合冷阱还包括节流阀(13),所述下法兰(2)安装在冷阱体(1)的下端,上法兰(3)安装在冷阱体(1)的上端,所述冷却装置和节流阀(13)由下而上依次安装在冷阱体(1)的内部。 |
地址 |
523820 广东省东莞市大岭山镇颜屋村第四工业区 |