发明名称 一种气压驱动式热油循环装置
摘要 本实用新型提供一种气压驱动式热油循环装置,与机台通过管路连通,包括:热交换器,与所述机台通过管路连通;供应热油箱,与所述热交换器通过管路连通;至少两个并联的循环热油箱,分别与所述供应热油箱、所述热交换器以及所述机台通过管路连通;驱动气源,与每个所述循环热油箱均通过气路连通。综上所述,本实用新型通过提供一种利用气压驱动的热油循环装置,解决现有技术中磨损严重、热油使用寿命短的问题,达到了无磨损的热量传递、减少浪费、方便维护且延长热油的使用寿命的目的。
申请公布号 CN201859844U 申请公布日期 2011.06.08
申请号 CN201020584444.1 申请日期 2010.10.29
申请人 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司 发明人 王刚
分类号 H01L21/00(2006.01)I 主分类号 H01L21/00(2006.01)I
代理机构 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 代理人 屈蘅;李时云
主权项 一种气压驱动式热油循环装置,与机台通过管路连通,其特征在于,包括热交换器,与所述机台通过管路连通;供应热油箱,与所述热交换器通过管路连通;至少两个并联的循环热油箱,所述循环热油箱与所述机台、所述热交换器构成循环,所述循环热油箱还与所述供应热油箱通过管路连通;驱动气源,与每个所述循环热油箱均通过气路连通。
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