用于CVD应用的腔室部件

摘要

本发明提供与处理腔室一同使用的设备。在一实施态样中，提供一阻隔板，该阻隔板包括一环状板，该环状板具有一内部部分，该内部部分具有一第一厚度，且该环状板具有一孔洞图案，该孔洞图案包括：一部分；一第一图案部分，共中心地设置在该部分的周围，并且包括数个第一孔洞，该些第一孔洞具有一第一孔洞数量；一第二图案部分，共中心地设置在该第一图案部分的周围，并且包括数个第二孔洞，该些第二孔洞具有一第二孔洞数量，且该第二孔洞数量大于该第一孔洞数量；一周围部分，共中心地设置在该第二图案部分的周围。该环状板更具有一外部部分，该外部部分包括设置在该环状板的一周边上的一高起的共中心部分。在另一实施态样中，提供第二、第三及第四种阻隔板。另外，提供在处理腔室中使用的混合设备及液体蒸发设备。

主权项

一种阻隔板(blocker plate)，包括：环状板，具有内部部分，该内部部分具有第一厚度，且该环状板具有孔洞图案，该孔洞图案包括：中央部分；第一图案部分，共中心地设置在该中央部分的周围，并且包括数个第一孔洞，该些第一孔洞具有第一孔洞数量；第二图案部分，共中心地设置在该第一图案部分的周围，并且包括数个第二孔洞，该些第二孔洞具有第二孔洞数量，且该第二孔洞数量大于该第一孔洞数量；周围部分，共中心地设置在该第二图案部分的周围；以及外部部分，包括设置在该环状板的周边上的高起的(raised)共中心部分，并具有第二厚度，该第二厚度大于该中央部分的该第一厚度。