激光自混合测量装置

摘要

本发明提供了一种激光自混合测量装置，包括带激光器腔体的激光器，以及沿激光束光路布置的表面，所述表面使入射激光改变方向回到激光器腔体中。所述表面包含周期性结构，把激光衍射成为多束局部光束。

主权项

一种激光自混合测量装置(1)，包括：带激光器腔体(9)的激光器(3)，用于产生测量激光束(10)；监视器件，用于监视激光强度或其等价参数；检测电路(17)，用以检测被所述监视器件监视的激光强度的周期性变化；以及衍射元件(20)，布置在激光器(3)的光路中，衍射元件(20)将部分激光沿所述光路改变方向回到激光器腔体(9)中；所述衍射元件(20)具有周期性结构，将入射激光衍射成为多束局部光束(30;31)，以及所述衍射元件(20)相对于所述激光器腔体(9)可移动。